電子銃､イオンガンのイメージング (SEM像､SIM像)､電子ビームイオンビーム走査機器､ビーム偏向ユニット､電子ビームイオンビーム応用機器､吸収電流像､AEI､二次電子像､SEI､二次電子検出器､SED､特注電子銃､イオン銃､SEM用画像取込装置､DISS5､電子顕微鏡デジタル画像､デジタルスキャンユニット､低速電子銃､分析用電子銃､ガスイオン銃､真空装置､真空機器､特注FIB､小型FIB､小型集束イオンビーム装置､E×Bマスフィルター､液体金属イオン源Ga､ファラデーカップ､イオンエッチング､イオン注入､電子線照射､イオン照射､高圧電源､加速電源､装置改造､電子銃イオンガン改造

弊社はおもに半導体関連､成膜関連の研究開発用真空装置及び真空機器の設計製造を行っており、特にユーザーの仕様に対応した各種特注電子銃､イオン銃を光学設計から製造、またそれらに付帯する電子イオンビーム走査機器､SEM画像取込装置及び高圧加速電源､定電圧 定電流制御機器を行っています。

お手ちの汎用電子銃､イオン銃で二次電子像、吸収電流像が観察できます。
走査像表示システムの特徴 UPS-2000DAC
走査像観察機能を有していないさまざまな汎用電子銃やイオン銃にビーム偏向系及び検出系を増設することにより二次電子像又は吸収電流像が得られるシステムであり試料電流計測だけではわからない最適フォーカス条件やビームの安定度、ビームの形状､非点またどの領域にビームがあたっているかPCを見ながら観察できます。

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